Salle Blanche du MPQ
Présentation
La salle blanche d’Université Paris Cité est une plateforme mutualisée ouverte, membre du consortium CNRS « Salle Blanche Paris Centre » (ENS, ESPCI, SU, Observ.) et du réseau Renatech+. Ses missions portent sur la micro et nanofabrication de dispositifs à base de semiconducteurs et de matériaux de basse dimensionnalité.
Les applications visées sont la photonique, l’optomécanique, la spintronique, l’électronique moléculaire, l’optoélectronique, les biocapteurs et l’électronique organique.
La salle blanche a également une mission d’enseignement puisqu’elle forme des étudiants au niveau L3, ingénieur (EIDD) et M2 (masters DQ et ICFP).
Il s’agit d’un environnement de 150m² à l’atmosphère contrôlée en température, hygrométrie et empoussièrement. S’agissant de ce dernier paramètre, notre installation se compose d’un environnement en classe ISO7 (classe 10 000) ainsi que des hottes en classe ISO5 (classe 100). En moyenne, la salle blanche d’Université Paris Cité est impliquée dans la publication d’une quarantaine d’articles scientifiques par an. Elle est utilisée de façon régulière par environ 70 chercheurs, étudiants, postdocs et ingénieurs appartenant à une quinzaine de laboratoires différents.
Activités
Expertises
L’équipe de la salle blanche est spécialisée en micro- et nanofabrication et accompagne les nombreux utilisateurs dans leurs projets au travers de formations, conseils et développements technologiques.
Equipements
Cette plateforme de 150m² dispose de tous les équipements nécessaires pour réaliser des micro- nano- dispositifs : on y retrouve notamment des installations de nettoyage, lithographie optique et électronique, gravure humide et sèche, dépôt de couches minces, caractérisation et de montage. Des équipements vont progressivement s’ajouter dans les mois et années à venir, notamment grâce à l’Equipex+ “Nanofutur” piloté par Renatech+ et dont notre salle blanche est partenaire.
– Imagerie MEB haute résolution et lithographie électronique
– Lithographie optique
– Dépôts de couches minces métalliques (évaporation à canon à électrons)
– Dépôts de couches minces isolantes (PECVD oxyde et nitrure de silicium)
– Gravure de couches minces isolantes (RIE fluorée)
– Gravure profonde de semiconducteurs III-V (ICP-RIE chlorée)
– Recuits d’alliages métaux-semiconducteurs
– Mesure de hauteur de marches, mesure de contraintes (profilomètre mécanique)
– Réalisation de connections électriques (wire bonding)
– Gravure humide
– Nettoyage et activation de surface
– Enduction de résine Microscopie optique
– Dépôt d’hétérostructures 2D par la technique du hot pickup transfer (équipement Equipex+ Nanofutur)
Services proposés
Notre installation est une plateforme ouverte, ce qui signifie que nos utilisateurs peuvent accéder directement aux différents équipements après une formation adéquate. Ils peuvent à tout moment contacter l’équipe d’ingénieurs pour des formations supplémentaires, des conseils et obtenir de l’aide technologique. Des développements technologiques peuvent être entrepris par l’équipe d’ingénieurs de la salle blanche s’ils servent au plus grand nombre.
Plateformes dans la même thématique
Laboratoire de confinement niveau 2 (L2) – MERIT
Le plateau technique L2 de l’UMR 261 MERIT est un laboratoire de confinement de type 2, spécialisé dans la manipulation de microorganismes parasitaires, et principalement de Plasmodium falciparum, parasite cultivable du paludisme.
Plateforme d’analyse haute résolution (PARI)
La plateforme d’analyse haute résolution PARI dote l’IPGP d’une plateforme analytique de pointe, constituée d’une chaîne cohérente d’équipements innovants, permettant de répondre aux questions scientifiques fondamentales de la recherche en Sciences de la Terre, de l’Univers et de l’environnement ainsi qu’aux questions scientifiques d’autres disciplines de l’Université Paris Cité.
BROCA Living Lab de l’EA 4468
Le Broca Living Lab (BLL), structure créée en 2009, réunit une équipe multidisciplinaire qui s’intéresse au développement, à l’évaluation et à l’implémentation d’interventions de santé innovantes à destination des personnes âgées.
Simulateur spatial / Enceinte à vide pour tests thermiques
Le simulateur spatial de l’APC est une installation permettant de faire des essais de cyclages en température et sous vide poussé de divers équipements ou composants, notamment pour des modèles de développement ou de qualification d’instruments spatiaux.
Laboratoire de Confinement niveau 2 (L2) du CRC
La vocation de la plateforme L2 (Laboratoire de confinement de niveau 2) du Centre de Recherche des Cordeliers (CRC) est d’offrir la possibilité à ses utilisateurs de manipuler en milieu confiné de niveau de sécurité biologique 2.
Ses infrastructures, ses équipements et le support scientifique et technique de son personnel sont à la disposition de tous les membres du CRC, de ses Universités de tutelle (Université Paris Cité et Sorbonne Université) ainsi qu’aux autres utilisateurs académiques ou privés. Le L2 est sous la responsabilité de 2 responsables techniques et opérationnels : Audrey DIDELOT (audrey.didelot@u-paris.fr) et Delphine LE CORRE (delphine.lecorre@u-paris.fr).
Moyens d’essais, Salles Propres, AIT/AIV (MESPAL) du LESIA
Le MESPAL (Moyens d’essais, Salles Propres, AIT/AIV du LESIA), regroupe tous les bancs de tests, étalonnage, toutes les salles propres et l’équipe d’intégration/vérification du LESIA.
Laboratoire de confinement niveau 3 (L3) du CRC
La vocation de la plateforme L3 (Laboratoire de confinement de niveau 3) du Centre de Recherche des Cordeliers (CRC) est d’offrir la possibilité à ses utilisateurs de manipuler en milieu confiné de niveau de sécurité biologique 3. Le L3 se compose de 3 postes de travail, dédiés aux expériences mettant en œuvre des bactéries, des virus ou des OGM viraux. Ses infrastructures, ses équipements et le support scientifique et technique de son personnel sont à la disposition de tous les membres du CRC, de ses Universités de tutelle (Université Paris Cité et Sorbonne Université) ainsi qu’aux autres utilisateurs académiques ou privés. Les activités du L3 sont engagées dans une démarche qualité depuis 2018 et sont certifiées iso 9001 : v2015 et NFX 50-900. Le L3 est sous la responsabilité d’un responsable technique et opérationnel : Maxime Lecerf.