Microscope électronique à balayage et lithographie électronique (MEB-Litho)

Présentation

Elle permet d’imager diverses micro- et nanostructures et de caractériser les propriétés chimiques de tous les types de surface, avec une résolution nanométrique. Elle permet aussi de remonter à la composition chimique des objets étudiés. Elle permet également la fabrication de diverses nanostructures par lithographie ebeam.

Activités

Expertises

Les objets et les matériaux imagés et analysés peuvent être des matériaux et des nanomatériaux solides (métaux et alliages, céramiques, polymères, matériaux massifs, poudres ou films minces..). Il est possible :
– d’imager la morphologie et la topographie avec une résolution nanométrique
– d’identifier les phases par contraste chimique
– de déterminer la composition élémentaire quantitative
– d’estimer l’épaisseur d’une couche mince- de métalliser les surfaces
– de sécher les surfaces : Le séchage supercritique
– de fabriquer des nanostructures sur des surfaces ITO, silicium et verre.

La plateforme travaille avec différents laboratoires académiques et industriels dans des domaines scientifiques variées et avec un champ de collaborations large (chimistes, physiciens géochimistes, biologistes).

Equipements

MEB-EDX
La plateforme est équipée de deux microscopes électroniques à balayage :
– Un MEB-FEG Zeiss SUPRA 40 avec une résolution de 1 nm/15 kV – 1.9 nm/ 1 kV
– Un MEB Zeiss GeminiSEM 360 avec une résolution de 0.7 nm/15 kV – 1.2 nm/1 kV

Ce dernier microscope est couplé à un détecteur de rayons X (Oxford -Ultim Max 170 mm2)

LITHOGRAPHIE ÉLECTRONIQUE
Le système de lithographie électronique (Nabity, NPGS) est installé sur le MEB-FEG Zeiss SUPRA

PRÉPARATIONS
– Évaporateur pour la métallisation des surfaces isolantes : Carbone Gressington Carbon Coater 108carbon et un métaliseur platine, or, cobalt, chrome, ITO : Gressington 208HR
– Évaporateur dédié au processus de lithographie : Plassys MEB 400
– Un instrument pour sécher les surfaces biologiques ( Le séchage supercritique) : Leica EM CPD300

Services proposés

La plateforme propose un accompagnement complet des utilisateurs académiques et industriels : des préparations des échantillons, à l’analyses des données, et jusqu’à leur interprétation.

Les utilisateurs sont formés à l’utilisation des instruments et réalisent eux-mêmes leurs expériences sous la supervision de la responsable opérationnelle de la plateforme.

La plateforme développe régulièrement ses savoir-faire et ses équipements/accessoires avec le réseau de plateformes du groupe national de microscopie électronique et micro-analyse (GNMEBA) et le réseau international de Microscopie électronique RIME. Elle accueille chaque année une formation professionnalisante.